智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機干泵密封設(shè)計(電機和所有軸承與真空環(huán)路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件??蛇x的集成入口保護閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會額外增加泵的高度。
HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)報價它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。