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無(wú)塵高溫烘箱 工業(yè)烘箱

無(wú)塵高溫烘箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

無(wú)塵高溫烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

無(wú)塵高溫烘箱

特點(diǎn)

1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過(guò)濾效率99.99%,Class 100;
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到溫度控制精度。

無(wú)塵高溫烘箱

技術(shù)參數(shù)

無(wú)塵等級(jí):Class 100;     

溫度范圍:RT+10~200℃;

溫度均勻度:±2℃;    

溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)        

溫控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:自定義(mm)         

電源:380v , 50Hz,   

網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

 

箱體結(jié)構(gòu):

1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;

2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;

3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;

4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;

5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

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