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潔凈度等級有標準就是ISO,還有國內標準,10/100/1000級屬于國內標準。10/100/1000的意思是:每立方米空氣內含有微粒(微粒直徑大于等于0.1微米)的zui大個數(shù)。例如,100級就是粒徑大于等于0.1微米的zui大微粒數(shù)不能大于100個。
國標與ISO標準相對應: 10級相當于ISO4級,100級相當與ISO5級,1000級相當于ISO6級。
100級潔凈烤箱?用途:
100級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
100級潔凈烤箱特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到zui的溫度控制精度。
100級潔凈烤箱產品技術參數(shù):
無塵等級:Class 100; 可自定義10/1000級
溫度范圍:RT+10~200℃;zui高溫度可自定義
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:W800×D800×H1000(mm)可自定義
電源:380v , 50Hz,20KW
網板:2塊(高度可調節(jié))
潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。